真空设备工作原理
发布日期:2024-11-14 05:11:44 作者:利来国际w66 点击:
金融界2024年11月13日消息,国家知识产权局信息显示,乐金显示光电科技(中国)有限公司申请一项名为“抽真空装置、镀膜设备以及抽真㊣空方法”的专利,公开号 CN 118932310 A,申请日㊣期为2024年7月。
专利摘要显示,本发明涉及一种抽真空装置、镀膜设备以及抽真空㊣方法,抽真空设备㊣包括第一真空㊣泵、第二真㊣空泵、出气管和循环气管,第一真空泵的额定功率大于第二真空泵的额定功率
真空设备工作原理,出气管的入口端与中转腔室连接,出气管的出口端向外排放气体,第一真空泵设置于出气管上,循环气管的两端均与出气管连接,且循环气管的一端位于第一真空泵与出气管的入口端之间,循环气管的另一端位于第一真空泵与出气管的出口端之间,第二真空泵设㊣置㊣于循环气管上。通过使用额定功率较小的第㊣二真空泵进行运作,使得整个抽真空装置的耗电量降低,达到节约能源的目的,有利于降造成本。